参考2024年最新招生录取数据，可知全国共有4所大学开设了微机电系统工程专业，其中北京有2所大学,广东有1所大学,陕西有1所大学开设微机电系统工程专业。以下是全国各省市开设微机电系统工程专业的大学名单一览表，供2025年高考生参考。

北京(2所)

北京航空航天大学
清华大学 (ABC评级：A+，排名：1)

广东(1所)

东莞理工学院

陕西(1所)

西北工业大学 (ABC评级：A+，排名：2)

备注：软科排名为对应大学微机电系统工程专业软科排名及评级，ABC排名为对应大学微机电系统工程专业ABC排名及评级

以上是2025年全国开设微机电系统工程专业的4所大学名单。这些院校在微机电系统工程专业领域的教学和研究上各有特色，为学生提供了丰富的学术资源和实践机会。选择一所适合自己的大学，对于学生未来的学术发展和职业规划至关重要。希望这份名单能够帮助学生和家长做出更明智的选择。